≥ 99,996% Trifluoreto de Nitrogénio NF3 CAS 7783-54-2, para limpeza de semicondutores, gravação em plasma e aplicações eletrónicas de gás de ponta

1. Visão geral do produto

Trifluoreto de azoto (NF)₃) é um importante gás especial de alta pureza, amplamente utilizado na fabricação de semicondutores, painéis de exibição, células solares e produção de materiais eletrônicos avançados.

NF₃Possui excelente capacidade de fluoração e elevada eficiência de reação plasmática, tornando-o um importante gás de limpeza e gás auxiliar de gravação na indústria de semicondutores.

De acordo com o relatório de inspecção do produto fornecido pela Changzhou Jiayuan Chemical Co., Ltd., a pureza deste lote de Trifluoreto de Azoto é≥990,996%, com resultados de ensaio que mostram uma pureza > 99,996%, cumprindo os requisitos.- Não.

2Especificações

Nome do produto: Trifluoreto de Azoto

Nome em inglês: Nitrogen Trifluoride

Abreviação: NF₃

Fórmula química: NF₃

Número CAS: 7783-54-2

Categoria do produto: Gás eletrónico de alta pureza

Purificação:≥99.996%

Aparência: Gás incolor

Embalagem: Cilindros de alta pureza

3Especificações de qualidade do produto

NF₃Purificação: > 99,996%;

N₂: 0,11 ppm (≤5 ppm);

O₂+Ar: < 0,01 ppm (≤3 ppm);

CF₄: 14,25 ppm (≤20 ppm);

CO: < 0,01 ppm (≤1 ppm);

CO₂: 0,01 ppm (≤1 ppm);

N₂O: < 0,01 ppm (≤1 ppm);

SF₆: < 0,04 ppm (≤1 ppm);

HF: < 0,05 ppm (≤1 ppm);

H₂O: 0,03 ppm (≤1 ppm).

4Principais áreas de aplicação

①Gás de limpeza de semicondutores

NF₃É um gás de limpeza amplamente utilizado nos processos de fabricação de semicondutores, utilizado para remover silicetos, nitritos e outros depósitos das câmaras dos equipamentos CVD.

②Gravação por plasma

NF₃O fluoro reativo é gerado através do plasma, permitindo um processamento de material de precisão.

③Indústria de TFT-LCD e Displays

Utilizado para limpeza de equipamentos de deposição de película fina nos processos de produção de painéis de exibição.

④Indústria fotovoltaica

Utilizado para a limpeza de equipamentos e processos especiais na fabricação de células solares.

5Características e vantagens do produto

①Qualidade eletrônica de alta pureza

Pureza > 99,996%, que satisfaz os requisitos da fabricação electrónica avançada.

②Controle de baixa impureza

Os relatórios de ensaio mostram que as principais impurezas, incluindo a umidade, HF, SF₆, e o CO são controlados em ppm.

③Fonte eficiente de flúor

Possui uma eficiência de reação plasmática favorável, adequada para processos de fabricação de precisão.

6. Distinções em relação aos produtos relacionados

①NF₃versus SF₆

NF₃é utilizado principalmente para limpeza e gravação de semicondutores; SF₆É utilizado principalmente para isolamento de potência e certos processos de gravação.

②NF₃versus CF₄

CF₄é um gás de gravação tradicional, enquanto o NF₃oferece maior reatividade e eficiência de limpeza.

③NF₃versus C₄F₆/C₄F₈

NF₃É utilizado principalmente para limpeza e fornecimento de fontes de flúor;₄F₆e C₄F₈são utilizados principalmente para gravação de padrões finos.

7Considerações relativas aos contratos públicos no mercado russo

Os clientes geralmente se concentram nos seguintes aspectos:

-NF₃Purificação;

-CF₄Conteúdo;

-Teor de humidade;

-Teor de HF;

-SF₆e Outras Impuridades;

-Limpeza dos cilindros;

-Documentação técnica, incluindo COA, TDS, SDS e documentos de expedição.

O NF₃Os resultados dos ensaios para este lote da Changzhou Jiayuan Chemical Co., Ltd. satisfazem os requisitos técnicos especificados.

8- Vantagens do abastecimento de produtos

-Alimentação eletrónica de gás de alta pureza;

-Apto para clientes da cadeia da indústria de semicondutores;

-Controlo rigoroso das impurezas a nível de ppm;

-Fornecer documentação completa sobre a qualidade;

-Apoia o abastecimento internacional.

9. Perguntas frequentes (FAQ)

Q: Quais são as principais aplicações do Trifluoreto de Nitrogênio?

R: É usado principalmente na limpeza de semicondutores, gravura de plasma, painéis de exibição e fabricação fotovoltaica.

P: Porque é que o NF de alta pureza₃necessário?

R: Os processos de fabrico eletrónico são altamente sensíveis às impurezas.₃Melhora a estabilidade do processo e o rendimento do produto.

Q: Que documentação é normalmente necessária para a NF₃aquisição?

A: Normalmente são necessárias a COA, a TDS, a SDS, as especificações dos cilindros e a documentação de envio.