99.995% Hexafluoro-1,3-butadieno de alta pureza (C4F6, CAS 685-63-2) se utiliza en el grabado de semiconductores, gases electrónicos especiales y aplicaciones avanzadas de fabricación de microelectrónica.
1. Descripción general del productoEl hexafluoro-1,3-butadieno (C4F6) es un gas electrónico especial de alta gama que contiene flúor y uno de los importantes gases de grabado en la fabricación avanzada de semiconductores. C4F6 presenta un alto contenido de flúor, buena reactividad plasmática y una ...
1. Descripción general del producto
El hexafluoro-1,3-butadieno (C4F6) es un gas electrónico especial de alta gama que contiene flúor y uno de los importantes gases de grabado en la fabricación avanzada de semiconductores.
C4F6 presenta un alto contenido de flúor, buena reactividad plasmática y una excelente selectividad de grabado, por lo que se utiliza principalmente en la fabricación de chips avanzados, grabado de capas dieléctricas,Procesamiento de microelectrónica, y materiales electrónicos de alta gama.
En comparación con los gases de grabado tradicionales que contienen flúor, el hexafluorobutadieno puede satisfacer las demandas de los procesos avanzados de semiconductores para una alta selectividad, bajo daño y patrones finos.
El mercado ruso está dirigido principalmente a fabricantes de semiconductores, proveedores de gases electrónicos especializados, instituciones de investigación, empresas de materiales electrónicos de alta gama y comerciantes profesionales de gas.
2Especificaciones
Nombre del producto: hexafluoro-1,3-butadieno
Nombre en inglés: hexafluoro-1,3-butadieno
Alias: C4F6, HFBD
Fórmula química: C4F6
Número CAS: 685-63-2
Categoría de productos: gases electrónicos especiales / gases que contienen fluor de alta pureza
Apariencia: Gas incoloro
Purificación: 99,995%
Embalaje: embalaje en cilindro de acero de alta limpieza
Almacenamiento: En un ambiente fresco y ventilado, lejos de fuentes de calor y fuego.
3Áreas de aplicación principales
1 Gas para el grabado de semiconductores
El hexafluorobutadieno se utiliza principalmente en procesos de grabado por plasma en la fabricación avanzada de semiconductores.y otros materiales de película fina.
2 Fabricación avanzada de chips
Apto para los procesos de fabricación de chips lógicos avanzados, chips de memoria y dispositivos electrónicos de alta densidad.
3 Fabricación de microelectrónica y MEMS
Se utiliza para sistemas microelectromecánicos, procesamiento de estructuras electrónicas de precisión y grabado de patrones especiales.
4 Investigación y desarrollo de materiales electrónicos
Se utiliza para la investigación de nuevos gases de proceso de semiconductores y materiales electrónicos de alto rendimiento.
4. Diferencias con otros gases electrónicos especiales
1 Hexafluorobutadieno y octafluorociclobutano (C4F8)
Tanto el C4F6 como el C4F8 se utilizan en el grabado de semiconductores. El C4F6 tiene una mayor relación carbono-fluoro y una mayor capacidad de formación de película de polimerización, lo que le da una ventaja en el grabado fino avanzado;C4F8 tiene una gama más amplia de aplicaciones.
2 Hexafluorobutadieno y hexafluoruro de azufre (SF6)
El C4F6 se utiliza principalmente para el grabado de semiconductores de precisión, mientras que el SF6 se utiliza más ampliamente en aislamiento, grabado y gases industriales.
3 Hexafluorobutadieno y Hexafluoropropileno (HFP)
El HFP se utiliza principalmente como monómero de fluoropolímero, mientras que el C4F6 se utiliza principalmente como gas especial electrónico.
5Consideraciones clave para la contratación en el mercado ruso
Los clientes rusos suelen centrarse en lo siguiente al comprar hexafluorobutadieno:
- Pureza del gas;
- contenido de humedad;
- Impuridades como el oxígeno y el nitrógeno;
- Control de las impurezas metálicas;
- La limpieza de los cilindros;
- La estabilidad de llenado;
Documentos técnicos como el COA, el TDS y el SDS.
6Ventajas del producto
- gases electrónicos especiales de alta gama para procesos avanzados de semiconductores;
- Excelente rendimiento de grabado por plasma;
- Alta selectividad y bajos daños en el proceso;
- satisface las necesidades de la fabricación avanzada de microelectrónica;
Adecuado para el mercado de materiales electrónicos de alto valor añadido.
7Envasado y almacenamiento
El hexafluorobutadieno se envasó típicamente en cilindros de acero de alta limpieza.
Durante el almacenamiento y el transporte, se deben evitar altas temperaturas, impactos y fugas,y la gestión deben llevarse a cabo de conformidad con la normativa pertinente para los gases electrónicos especiales y los gases comprimidos.
8. Preguntas frecuentes (FAQ)
P: ¿En qué industrias se utiliza principalmente el hexafluorobutadieno?
R: Se utiliza principalmente en la fabricación de semiconductores, circuitos integrados, MEMS, materiales electrónicos y procesos avanzados de grabado.
P: ¿Por qué el hexafluorobutadieno es adecuado para el grabado avanzado?
R: Su estructura molecular puede crear un entorno plasmático adecuado para el mecanizado fino, lo que ayuda a mejorar la selectividad del grabado y el control del patrón.
P: ¿Cuál es la diferencia entre el hexafluorobutadieno y el octafluorociclobutano?
R: El C4F6 está más orientado a aplicaciones avanzadas de grabado fino, mientras que el C4F8 tiene una gama más amplia de aplicaciones y es uno de los gases de grabado electrónico más utilizados.
P: ¿Qué documentos se requieren para comprar hexafluorobutadieno en Rusia?
R: Por lo general, se requiere un Certificado de Autorización (COA), TDS, SDS, información del cilindro y documentos de envío.