99,995% Высокочистый гексафтор-1,3-бутадиен (C₄F₆, CAS 685-63-2) используется в процессах травления полупроводников, в специальных электронных газах и в передовых приложениях микроэлектроники.

1. Обзор продукта
Гексафтор-1,3-бутадиен (C₄F₆) — это высококачественный фторсодержащий специальный электронный газ и один из важных травильных газов в передовом производстве полупроводников.

C₄F₆ отличается высоким содержанием фтора, хорошей плазменной реакционной способностью и превосходной селективностью травления, благодаря чему он в основном используется в передовом производстве чипов, травлении диэлектрических слоев, обработке микроэлектроники и высококачественных электронных материалах.

По сравнению с традиционными фторсодержащими травильными газами, гексафторбутадиен может удовлетворить потребности передовых полупроводниковых процессов в высокой селективности, низком уровне повреждений и тонком формировании рисунка.

Российский рынок в основном ориентирован на производителей полупроводников, поставщиков специальных электронных газов, научно-исследовательские учреждения, компании, производящие высококачественные электронные материалы, и профессиональных трейдеров газов.

2. Технические характеристики

Наименование продукта: Гексафтор-1,3-бутадиен

Английское наименование: Hexafluoro-1,3-butadiene

Синонимы: C₄F₆, HFBD

Химическая формула: C₄F₆

Номер CAS: 685-63-2

Категория продукта: Специальные электронные газы / Высокочистые фторсодержащие газы

Внешний вид: Бесцветный газ

Чистота: 99,995%

Упаковка: Упаковка в стальные баллоны высокой чистоты

Хранение: Хранить в прохладном, вентилируемом помещении, вдали от источников тепла и огня.

3. Основные области применения

① Газ для травления полупроводников
Гексафторбутадиен в основном используется в процессах плазменного травления в передовом производстве полупроводников. Он может использоваться для прецизионной обработки материалов с низкой диэлектрической проницаемостью, оксидов и других тонкопленочных материалов.

② Передовое производство чипов
Подходит для производственных процессов передовых логических чипов, чипов памяти и электронных устройств высокой плотности.

③ Производство микроэлектроники и MEMS
Используется для микроэлектромеханических систем, прецизионной обработки электронных структур и травления специальных рисунков.

④ Исследования и разработка электронных материалов
Используется для исследований новых газов для полупроводниковых процессов и высокопроизводительных электронных материалов.

4. Отличия от других специальных электронных газов

① Гексафторбутадиен и Октафторциклобутан (C₄F₈)

Как C₄F₆, так и C₄F₈ используются в полупроводниковом травлении. C₄F₆ имеет более высокое соотношение углерода к фтору и более сильную способность к образованию полимерной пленки, что дает ему преимущество в передовом тонком травлении; C₄F₈ имеет более широкий спектр применения.

② Гексафторбутадиен и Гексафторид серы (SF₆)

C₄F₆ в основном используется для прецизионного полупроводникового травления, в то время как SF₆ более широко используется в качестве изоляционного, травильного и промышленного газа.

③ Гексафторбутадиен и Гексафторпропилен (HFP)

HFP в основном используется в качестве мономера фторполимера, в то время как C₄F₆ в основном используется в качестве специального электронного газа.

5. Ключевые аспекты при закупках на российском рынке
Российские заказчики обычно обращают внимание на следующее при закупке гексафторбутадиена:

- Чистота газа;
- Содержание влаги;

- Примеси, такие как кислород и азот;

- Контроль металлических примесей;

- Чистота баллона;

- Стабильность наполнения;

Технические документы, такие как Сертификат анализа (COA), Техническое описание (TDS) и Паспорт безопасности (SDS).

6. Преимущества продукта

- Высококачественные специальные электронные газы для передовых полупроводниковых процессов;

- Превосходные характеристики плазменного травления;

- Преимущества высокой селективности и низкого уровня повреждений в процессе;

- Удовлетворяет потребности передового производства микроэлектроники;

Подходит для рынка высокоценных электронных материалов.

7. Упаковка и хранение
Гексафторбутадиен обычно упаковывается в стальные баллоны высокой чистоты.

При хранении и транспортировке следует избегать высоких температур, ударов и утечек, а управление должно осуществляться в соответствии с соответствующими нормами для специальных электронных газов и сжатых газов.

8. Часто задаваемые вопросы (FAQ)

В: В каких отраслях в основном используется гексафторбутадиен?

О: В основном используется в производстве полупроводников, интегральных схем, MEMS, электронных материалов и в процессах передового травления.

В: Почему гексафторбутадиен подходит для передового травления?

О: Его молекулярная структура может создавать плазменную среду, подходящую для тонкой обработки, что помогает улучшить селективность травления и контроль рисунка.

В: В чем разница между гексафторбутадиеном и октафторциклобутаном?

О: C₄F₆ больше ориентирован на передовые приложения тонкого травления, в то время как C₄F₈ имеет более широкий спектр применения и является одним из часто используемых электронных травильных газов.

В: Какие документы требуются для закупки гексафторбутадиена в России?

О: Как правило, требуются Сертификат авторизации (COA), Техническое описание (TDS), Паспорт безопасности (SDS), информация о баллоне и транспортные документы.