A procura de nitrogénio trifluoreto (NF3) no mercado continua a crescer, com as suas aplicações em semicondutores.
[ Shanghai Jiafurui]A procura de nitrogénio trifluoreto (NF) no mercado₃) continua a crescer, com as suas aplicações em semicondutores, painéis de display e fotovoltaicos em constante expansão.
Com o desenvolvimento contínuo das indústrias de fabricação de semicondutores, painéis de exibição, fotovoltaicos e eletrônicos avançados, o trifluoreto de nitrogênio (NF3),como um importante gás de especialidade electrónicaA sua elevada reatividade e boa adaptabilidade ao processo tornam-na particularmente adequada para ambientes de fabrico de electrónica de alta pureza.
Atualmente, o trifluoreto de nitrogénio é utilizado principalmente no campo da fabricação de semicondutores,onde é frequentemente utilizado para limpar as câmaras de equipamentos como a deposição química de vapor (CVD) e a deposição química de vapor (PECVD) reforçada por plasmaPode remover resíduos depositados, tais como silício, nitreto de silício e óxido de silício, ajudando a manter a operação estável do equipamento e o rendimento de produção de wafer.
Na indústria dos painéis de exibição, o trifluoreto de azoto é amplamente utilizado para limpeza de cavidades nos equipamentos de produção de TFT-LCD, OLED, Mini LED e dispositivos de exibição relacionados.Com o desenvolvimento de painéis de alta geração e novas tecnologias de exibição, a procura de NF3 de alta pureza também está a aumentar.
Além disso, o trifluoreto de azoto é utilizado em células solares de película fina, fabrico de materiais fotovoltaicos, circuitos integrados, chips de memória, semicondutores de potência, dispositivos MEMS,e alguns processos avançados de embalagemPode também ser utilizado como gás de limpeza altamente eficiente em equipamentos de deposição de película fina à base de silício e nitruro de silício.
Nos domínios da investigação científica e dos materiais avançados, o NF3 pode também ser utilizado na gravação por plasma, sistemas de reação que contenham flúor, tratamento de superfície de materiais especiais,e a investigação e desenvolvimento de alguns materiais eletrónicosCom a expansão dos chips de IA, processos avançados, semicondutores de terceira geração e novas indústrias de exibição, de alta pureza, baixa impureza,e trifluoreto de nitrogénio de fornecimento estável terão um espaço de mercado mais amplo.
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