990,999% октафторуциклобутан C4F8 используется в полупроводниковой гравировке, электронных специальных газах и высокочистых фториновых материалах.
1. Обзор продуктаОктафторциклобутан (C₄F₈) — это высокочистый фторсодержащий специальный электронный газ, относящийся к категории специальных фторхимических продуктов. Октафторциклобутан высокой чистоты 99,999% обладает превосходной химической стабильностью, низким уровнем примесей и хорошими плазме...
1. Обзор продукта
Октафторциклобутан (C₄F₈) — это высокочистый фторсодержащий специальный электронный газ, относящийся к категории специальных фторхимических продуктов.
Октафторциклобутан высокой чистоты 99,999% обладает превосходной химической стабильностью, низким уровнем примесей и хорошими плазменными характеристиками. Он в основном используется в производстве полупроводников, обработке микроэлектроники, плазменном травлении, производстве дисплейных панелей и высокотехнологичной электронике.
Российский рынок в основном ориентирован на полупроводниковые компании, производителей электроники, поставщиков специальных газов, научно-исследовательские учреждения и трейдеров высокочистых газов.
2. Технические характеристики
Название продукта: Октафторциклобутан
Синонимы: Перфторциклобутан, C₄F₈
Химическая формула: C₄F₈
Номер CAS: 115-25-3
Чистота: ≥99,999%
Категория продукта: Специальные электронные газы/Высокочистые фторсодержащие газы
Внешний вид: Бесцветный газ
Упаковка: Стальной баллон высокой чистоты
3. Основные области применения
① Газ для травления полупроводников
Используется для плазменного травления таких материалов, как кремний, диоксид кремния и нитрид кремния.
② Производство микроэлектроники
Используется для прецизионного производства интегральных схем, дисплейных панелей, MEMS и т. д.
③ Плазменная обработка
Используется для обработки тонких рисунков и обработки тонких пленок.
④ НИОКР в области высокотехнологичных электронных материалов
Используется для специальных процессов фторирования и научных исследований.
4. Ключевые аспекты при закупках на российском рынке
Фокус на клиента:
- Чистота газа;
- Содержание влаги;
- Примеси, такие как кислород и азот;
- Металлические примеси;
- Чистота баллона;
- Стабильность наполнения;
- Документация COA, TDS и SDS.
5. Преимущества продукта
- Высокая чистота 99,999%;
- Отличная химическая стабильность;
- Хорошие характеристики плазменного травления;
- Удовлетворяет потребности передового производства электроники;
- Поддерживает международные поставки специальных электронных газов.
6. Упаковка и хранение
Упаковывается в стальные баллоны высокой чистоты. При хранении и транспортировке следует избегать высоких температур и сильных ударов, а также соблюдать спецификации для сжатых газов.
7. Часто задаваемые вопросы (FAQ)
В: В каких отраслях в основном используется октафторциклобутан?
О: В основном используется в производстве полупроводников, интегральных схем, дисплейных панелей, MEMS и электронных материалов.
В: Почему требуется чистота 99,999%?
О: Полупроводниковые процессы очень чувствительны к примесям; высокая чистота снижает загрязнение и улучшает стабильность травления.
В: В чем разница между октафторциклобутаном и гексафторидом серы?
О: C₄F₈ в основном используется для травления полупроводников, в то время как SF₆ чаще используется в качестве изолятора, для травления и в промышленных газах.
В: Какие документы требуются для закупок в России?
О: Как правило, требуются Сертификат авторизации (COA), Паспорт данных испытаний (TDS), Паспорт безопасности (SDS), информация о баллоне и транспортные документы.